首先，让我们回顾一下MEMS技术的发展历程。1988年，加州大学伯克利分校成功研制出第一个可转动的MEMS马达。随后，1989年，美国桑迪亚国家实验室研制出第一个横向梳齿驱动器，使微机械结构可以在垂直于表面的方向移动。
经过30年的发展，MEMS器件已经渗透到我们的生活的方方面面。以下是一些常见的MEMS器件及其应用：
1. MEMS陀螺仪：MEMS陀螺仪在智能手机和平板电脑中得到了广泛应用。它可以实现转屏功能，使设备操作更加便捷。
2. 安全气囊：汽车安全气囊是保护乘客安全的必备装备。其中的MEMS器件可以迅速检测撞车事件，确保气囊在紧急情况下自动充气膨胀。
3. MEMS麦克风：MEMS麦克风体积小巧，灵敏度高，广泛应用于手机、电脑等设备中，提供高质量的音频体验。
4. MEMS投影仪：MEMS投影仪具有体积小、功耗低、图像质量好等特点，是教育、办公等领域的理想投影设备。
5. MEMS压力传感器：MEMS压力传感器广泛应用于汽车、医疗、工业等领域，可以实时监测压力变化，为用户提供准确的数据支持。
随着MEMS技术的不断发展，未来还将有更多创新的应用出现。例如，MEMS技术在生物医疗领域的应用将更加广泛，如MEMS微流控芯片、MEMS生物传感器等。此外，MEMS技术还可以用于环境监测、智能家居等领域，为我们的生活带来更多便利。
总之，MEMS器件作为一种具有广泛应用前景的微型系统，正在逐渐改变我们的生活。随着技术的不断进步，我们有理由相信，MEMS器件将在未来发挥更加重要的作用，为我们创造更加美好的生活。
MEMS全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。
生活中有哪些MEMS器件？
第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室研制了第一个横向梳齿驱动器，微机械结构可以在垂直于表面的方向移动。
图．1 加州大学伯克利分校研制的第一个可转动的MEMS马达
图．2 美国桑迪亚国家实验室研制的第一个横向梳齿驱动器
经过30年的发展，MEMS器件已经渗透于我们的生活之中。转屏是智能手机中的一项基本功能，如图．3所示，这项功能是通过MEMS陀螺仪来实现的。图．4展示了传统机械陀螺仪与MEMS陀螺仪的对比，后者比前者小得多，因而得以在智能手机和平板电脑中广泛应用。如图．5所示，出于安全考虑，气囊是汽车中的必备装备，它们会在发生撞车时自动充气膨胀，保护乘客的安全。安全气囊对撞车事件的迅速检测得益于其中的MEMS器件，图．6展示了MEMS加速度计的芯片结构。用于传感检测的MEMS芯片和用于控制的IC芯片通常混合集成在一个壳体里面。此外，MEMS技术在生活中的其他应用包括MEMS麦克风、MEMS投影仪、MEMS压力传感器，等等。
图．3 MEMS陀螺仪在智能手机中的应用—转屏功能
图．4 传统的机械陀螺仪（左）与MEMS陀螺仪（右）
图．5 汽车中的安全气囊（内有MEMS器件）
