光交叉互连开关（OXC）是一种用于构建CDC ROADM的N×N端口矩阵光开关。OXC可通过1×N端口光开关构建，随着端口数增加，尺寸和成本急剧增加，通常限于32×32端口。另一种技术是基于MEMS微镜阵列的Cross-Bar光开关，具有端口扩展潜力。AT＆T实验室成功报道了第一个基于2D MEMS技术的矩阵光开关，实现了N×N端口光开关。
光纤通信系统中，光开关用于实现光信号切换，广泛应用于光交叉连接技术。光开关类型多样，包括机械光开关和MEMS光开关。机械光开关通过物理移动光纤重定向光信号，而MEMS光开关基于微机电系统，通过微镜改变光束方向实现切换。MEMS光开关具有紧凑、快速切换、易扩展等优点，是未来大容量光网络开关的主流方向。亿源通自主研发的MEMS光开关系列产品，通道形式多样，功耗低、响应快，提供一站式光通信器件定制化服务...
MEMS（微机电系统）是利用IC工艺在硅晶圆上制备的微机电系统，包括光刻、离子束刻蚀等工艺。生活中常见的MEMS器件有MEMS马达、MEMS陀螺仪、MEMS麦克风等。MEMS陀螺仪在智能手机转屏功能中发挥重要作用，而MEMS加速度计则用于安全气囊的快速检测。MEMS技术在汽车、智能手机、智能家居等领域得到广泛应用。
可变光衰减器（VOA）是光纤通信中的重要光无源器件，可用于信号实时控制、光接收机过载保护等。随着应用增多，对VOA功能要求提高，需精确控制光功率、稳定衰减量、快响应时间。常见VOA类型包括机械型、液晶型、MEMS型等。MEMS VOA具有响应快、体积小、功耗低等优势，应用广泛。反射式MEMS VOA采用静电驱动，工作原理基于静电力驱动MEMS芯片反射面转动，实现光的衰减。
文章主要介绍了MEMS VOA在光纤通信系统中的应用，包括其优势、类型和结构。其中，MEMS Shutter型和MEMS微镜型VOA是两种常见的MEMS VOA类型。MEMS Shutter型VOA通过阻挡光束截面大小实现衰减，而MEMS微镜型VOA通过MEMS微镜反射偏转光束实现衰减。文章还讨论了MEMS微镜型VOA中WDL问题的优化，并介绍了MEMS扭镜的两种结构，平板电极和梳齿电极。
