文章主要介绍了MEMS VOA在光纤通信系统中的应用，包括其优势、类型和结构。其中，MEMS Shutter型和MEMS微镜型VOA是两种常见的MEMS VOA类型。MEMS Shutter型VOA通过阻挡光束截面大小实现衰减，而MEMS微镜型VOA通过MEMS微镜反射偏转光束实现衰减。文章还讨论了MEMS微镜型VOA中WDL问题的优化，并介绍了MEMS扭镜的两种结构，平板电极和梳齿电极。