电子行业创新推动集成电路缩小、效率提升。RTP技术作为先进工艺，在半导体制造中不可或缺，通过快速热处理提高产品性能。RTP需UPS不间断电源保证稳定性，与传统热处理相比，RTP升温快、加热均匀，减少硅片污染。